印前設(shè)備 印刷機(jī)械 印后設(shè)備 裝訂設(shè)備 廣告設(shè)備 辦公設(shè)備 印刷機(jī)械配件 其它印刷相關(guān)器材 其它印刷設(shè)備
三河建華高科有限責(zé)任公司
會(huì)員1.png)
三河建華高科有限責(zé)任公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
包裝印刷網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2023-06-26 09:11:46瀏覽次數(shù)：363次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等領(lǐng)域的雙面對(duì)準(zhǔn)和曝光
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等領(lǐng)域的雙面對(duì)準(zhǔn)和曝光。
主要技術(shù)特點(diǎn)
對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)
高精度薄型精密雙層三維對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)，采用交叉滾柱V形導(dǎo)軌副和θ向超薄軸承及中心滑塊結(jié)構(gòu)，保證了工作臺(tái)的直線性和旋轉(zhuǎn)精度。
機(jī)械手機(jī)構(gòu)
機(jī)械手采用直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠結(jié)構(gòu)，具有高的定位精度和重復(fù)精度。
上版架系統(tǒng)
上掩模版的升降導(dǎo)軌選用THK可調(diào)分離型直線導(dǎo)軌，驅(qū)動(dòng)采用高分辨率的數(shù)顯微分頭，從而保證兩掩模版的重復(fù)精度和定位精度。
對(duì)準(zhǔn)觀察系統(tǒng)
雙光路結(jié)構(gòu)的臥式分離視場(chǎng)顯微鏡，可以獲取高清晰的圖像同時(shí)兼容CCD成像顯示。
曝光系統(tǒng)
上、下兩套獨(dú)立的紫外光曝光系統(tǒng)，采用*的結(jié)構(gòu)方案，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) | ||
| 適用基片尺寸 | Max. φ6″（φ150mm） | ||
| 適用掩模版尺寸 | Max. 7″（175mm×175mm） | ||
| 上下掩模版對(duì)準(zhǔn)行程 | X向 | ±4mm | |
| Y向 | ±4mm | ||
| θ向 | ±7.5° | ||
| 上下掩模對(duì)準(zhǔn)精度 | ±3μm | ||
| 掩模版對(duì)基片對(duì)準(zhǔn)行程 | X向 | ±4mm | |
| Y向 | ±4mm | ||
| θ向 | ±5° | ||
| 掩模對(duì)基片對(duì)準(zhǔn)精度 | ±3μm（以單一面兩標(biāo)記形位檢測(cè)） | ||
| 機(jī)械手Z向行程 | 5mm | ||
| 機(jī)械手與下掩模版分離距離 | 0～100μm | ||
| 顯微鏡 | 物鏡放大率 | 6.5× | |
| 目鏡放大率 | 10× | ||
| 總放大倍數(shù) | 65× | ||
| 物鏡分離距離 | 90～140mm | ||
| 曝光光源 | 365nm，500W進(jìn)口汞燈 | ||
| 光強(qiáng) | ≥20mW/cm2 | ||
| 曝光面積 | φ160mm | ||
| 曝光分辨率 | 6um（正膠、膠膜膜厚不大于1um） | ||
| 曝光不均勻性 | ±5% | ||
| 曝光時(shí)間 | 0～999s | ||
| 外型尺寸 | 1178mm×1136mm×1752mm | ||
| 重量 | 560Kg | ||
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
包裝印刷網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
