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行業(yè)產(chǎn)品

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更新時(shí)間：2023-02-08 14:34:10瀏覽次數(shù)：447次

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商鋪產(chǎn)品：2條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

OAI是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)可靠并精密設(shè)備的MEMS，半導(dǎo)體，納米技術(shù)，潔凈室自動(dòng)化和紫外線光測(cè)量的制造商。 OAI系統(tǒng)可同時(shí)用于研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體，MEMS和微流體裝置。從光罩對(duì)準(zhǔn)和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業(yè)中的者超過40年。

　

OAI Series 6000 生產(chǎn)型曝光機(jī)

　

 全面的曝光系統(tǒng)

●  0.5μ 精確正面對(duì)準(zhǔn)
●  1μ 正反面對(duì)準(zhǔn)
●  高產(chǎn)量：170 WPH in 1st Mask Mode
●  均勻性優(yōu)于±3%
●  適用于各種規(guī)格的晶片
●  自動(dòng)平衡補(bǔ)償
●  適用于工藝的重復(fù)性要求
●  亞微米分辨率

　

OAI在MEMS和微流體裝置方面的產(chǎn)品主要包括 : 

    
                                                                             

 

　

 

 

　


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