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行業(yè)產(chǎn)品

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BG-408雙工位曝光機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-06-21 09:06:59瀏覽次數(shù):424次

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商鋪產(chǎn)品:8條

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產(chǎn)品簡介

該設(shè)備為全自動(dòng)曝光設(shè)備,主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光

詳細(xì)介紹

該設(shè)備為全自動(dòng)曝光設(shè)備,主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品自動(dòng)完成基片的傳輸、對準(zhǔn)與曝光工藝,操作方便、生產(chǎn)效率高、穩(wěn)定性高。

主要技術(shù)特點(diǎn)

對準(zhǔn)工作臺

雙工位工作臺由X、Y、θ、Z向四維精密電機(jī)機(jī)構(gòu)組成,可實(shí)現(xiàn)間隙找平與曝光,在接觸模式可實(shí)現(xiàn)真空復(fù)印,板架有防掩摸版脫落機(jī)構(gòu)。

傳輸系統(tǒng)

傳輸系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了上片盒、預(yù)對準(zhǔn)、對準(zhǔn)工作臺、收片盒四個(gè)工位二維并行傳輸,限度減少了傳輸?shù)臅r(shí)間,提高了整機(jī)工作效率。

預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)

預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)采用機(jī)械式錐桶定心,使得預(yù)對準(zhǔn)定心更方便和可靠。

控制系統(tǒng)

采用工業(yè)計(jì)算機(jī)總線系統(tǒng),人機(jī)交互界面簡潔直觀,操作方便,同時(shí)提供個(gè)性化服務(wù)。

主要技術(shù)指標(biāo)

 

性能名稱

技術(shù)指標(biāo)

基片尺寸

φ100mm

掩模尺寸

125mm×125mm

曝光范圍(紫外光源)

φ110mm

硅片或襯底厚度

0.2~1.1mm

生產(chǎn)效率

260片/小時(shí)(一次曝光,曝光時(shí)間3s)

工作臺

X向、Y向行程

±5mm

Z行程

28mm

θ向

±5°

對準(zhǔn)精度

5μm

曝光系統(tǒng)

曝光分辨率

2μm(接觸曝光,正膠膠厚1um)

不均勻性

±3%

光強(qiáng)(1000W汞燈)

≥40mW/cm2

對準(zhǔn)

顯微鏡

總放大倍率:160×

物鏡3×

物鏡分離量

60~110 mm

預(yù)對準(zhǔn)顯微鏡

掃正倍率:50×

物鏡1×

掃正物鏡

固定

尋邊倍率:160×

物鏡3×

尋邊物鏡分離量

0~10mm

外形尺寸

1500mm×2200mm×2000mm

重量

1500kg

整機(jī)功率

2000W

 

關(guān)鍵詞:
曝光
對準(zhǔn)
物鏡
系統(tǒng)
傳輸
工作臺
倍率
方便

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