主要特點： ▏有效加工尺寸6英寸，可定制特殊的工作臺面和切割框架； ▏配置多片自動切割功能； ▏采用的向?qū)接|摸屏操控GUI界面； ▏智能網(wǎng)絡控制系統(tǒng)，可靠性高、切割效率高；功能： ? 多片圖形工件同盤切割功能； ?多種復雜切割功能； ?圖像自動識別對準功能； ?自動過程磨刀功能； ?雙倍率顯微鏡切換功能； ?真空預警功能，真空管路去水功能； ?集中加油，快速維護功能； ?切割、刀片數(shù)據(jù)庫管理，操作日志記錄。

詳細介紹

應用：

6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化鎵、鈮酸鋰等材料的精密切割；廣泛用于IC集成電路，LED砷化鎵芯片、二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、、閃爍晶體等行業(yè)。

其他特征：

低氣壓、水壓、工作臺伺服、轉(zhuǎn)臺伺服、主軸驅(qū)動、測高系統(tǒng)、控制系統(tǒng)的故障報警，操作腔門安全鎖，漏水檢測、主軸電流監(jiān)控、真空不足保護功能。

技術指標：

工作物尺寸			mm	? 6"或160mm×160mm方形
X軸	可切削范圍		mm	165
	進刀速度輸入范圍		mm/s	0.1 - 500
Y軸	可切削范圍		mm	165
	單步步進量		mm	0.0001
	定位精度		mm	0.003以內(nèi)/165 0.002以內(nèi)/5 （單一誤差）
Z軸	有效行程		mm	35(使用?2"切割刀片時)
	移動量分辨率		mm	0.00005
	重復精度		mm	0.001
	可使用的切割刀片直徑		mm	? 58
θ軸	旋轉(zhuǎn)角度		deg	320
	轉(zhuǎn)角精度		″	15（直驅(qū)電機）
主軸	額定輸出功率		kW	1.5（1.8、2.4可選） at 30,000 min^-1
	額定扭矩		N?m	0.48
	旋轉(zhuǎn)數(shù)范圍		min^-1	3,000 - 40,000 （60,000*）
	可使用的框架		-	6寸
其他規(guī)格	電源		V	三相AC380V ±10％上述以外需配置變壓器
	耗電量	加工時	kW	0.5（參考值）
		暖機時	kW	0.3（參考值）
	耗電量		kVA	3.2
	壓縮空氣供給壓力		Mpa	0.5 - 0.8
	壓縮空氣消耗量		L/min（ANR）	185
	切削水壓力		Mpa	0.2 - 0.4
	消耗量		L/min	4.0
	冷卻水壓力		Mpa	0.2 - 0.4
	消耗量		L/min	1.5（在0.3MPa時）
	排風量		m³/min	1.5
	設備尺寸（W × D × H）		mm	600 × 970 × 1,600
	設備重量		kg	約600

使用條件：

1. 請將機器設在20~25℃的環(huán)境中（波動范圍控制在±1℃以內(nèi)）；室內(nèi)濕度＜80%，無凝結。

2. 請使用大氣壓露點在-15℃以下，殘余油份為0.1ppm，過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。

3. 請將切削水的水溫控制為室溫+2℃（波動范圍在±1℃以內(nèi)），冷卻水的水溫控制為與室溫相同（波動范圍控制在±1℃以內(nèi)）。

4. 請避免設備受到重力撞擊以及外界任何振動威脅。另外，請不要將設備裝在鼓風機、通風口、產(chǎn)生高溫的裝置以及產(chǎn)生油污的裝置附近。

5. 請把本設備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場所。

6. 請嚴格按照本公司產(chǎn)品使用說明書進行操作。