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武漢泰和豐順光電有限公司


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加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計(jì)

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加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計(jì) 加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計(jì)高溫應(yīng)用性能良好

詳細(xì)介紹

益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
  • 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
  • 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
  • 的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程
  • 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
  • 需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程

規(guī)格

類(lèi)型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
溫度效應(yīng)      
零點(diǎn) percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
滿(mǎn)量程 % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
壓力， kPa (absolute) 400 260 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5
溫度      
運(yùn)行（周?chē)h(huán)境）（5） °C +10 … +50    
在法蘭處烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗      
加熱時(shí) W ≤20 ≤15 ≤15
運(yùn)行溫度 W ≤14 ≤10 ≤10
輸出信號(hào)（模擬） V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
保護(hù)等級(jí) IP 40 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)      
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) (5) SEMI S2    
加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計(jì)     

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