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BPG400 大氣壓至超高真空真空計

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更新時間：2023-10-19 11:04:13瀏覽次數(shù)：274次

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武漢泰和豐順光電有限公司

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產(chǎn)品簡介

BPG400 大氣壓至超高真空真空計 INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10毫巴至大氣壓（3.8×10-10托至大氣壓）。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇BPG400真空計，價格經(jīng)濟，且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。

詳細介紹

益處

測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
使用壽命長的氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
RoHS 合規(guī)
低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型		BPG400
測量范圍（空氣、O2、CO、N2）		5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
可重復(fù)性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤，有延伸件	°C	150
在法蘭處烘烤，無延伸件	°C	80
移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
電源電壓		+20 … +28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10
測量范圍	V	+0.774 … +10
電壓與壓強	volts per decade	0.75
錯誤信號	V	0.3 / 0.5
最小負載電阻	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保護等級		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量		2
設(shè)定點繼電器：范圍	mbar	1×10-9 … 100
設(shè)定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設(shè)定點繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點繼電器：觸點額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)