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BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計(jì)

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武漢泰和豐順光電有限公司

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產(chǎn)品簡介

BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計(jì) INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容式膜片真空計(jì)將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個(gè)單個(gè)、緊湊和經(jīng)濟(jì)的可以測量 5×10-10到 1500 毫巴（3.75×10-10到 1125 托）的過程壓力和基準(zhǔn)壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計(jì)的設(shè)計(jì)旨在替代三個(gè)傳感器（熱離子、熱量增強(qiáng)型皮拉尼和真空開關(guān)），從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。

詳細(xì)介紹

益處

BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠?qū)θ魏螝怏w混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空和超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型		BCG450
測量范圍		5×10-10 … 1500
精度
10-8 … 50 毫巴	% of reading	±15
50 … 950 毫巴	% of reading	±5
950 … 1050 毫巴	% of reading	±2.5
可重復(fù)性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
熱離子發(fā)射	mbar	2×10-2 (high)
（可選高/低，通過 RS232 / 現(xiàn)場總線）	mbar	8×10-3 (low)
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，	bar (absolute)	5
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
電源電壓		20 … 28
輸出信號(hào)模擬
輸出信號(hào)	V	0 … 10.3
測量范圍輸出	V	0.774 … 10.3
電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系	volts per decade	0.75
錯(cuò)誤信號(hào)	V	0.3 / 0.5
最小負(fù)載	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
連接器		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保護(hù)等級(jí)		IP30
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模		up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器：設(shè)定點(diǎn)數(shù)量