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PEG100 中真空至超高真空真空計(jì)

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PEG100 中真空至超高真空真空計(jì) INFICON 潘寧PEG100型真空計(jì)提供可靠的高真空測(cè)量。 堅(jiān)固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì)出現(xiàn)燈絲燒毀的現(xiàn)象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì)降低，真空計(jì)還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運(yùn)行。 現(xiàn)場(chǎng)總線選件，除了對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)外，允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中。

詳細(xì)介紹

益處

  • 測(cè)量范圍廣，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
  • 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
  • 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供的點(diǎn)火屬性
  • 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn)，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中
  • 陽極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
  • 最小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度
  • 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
  • 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
  • 現(xiàn)場(chǎng)總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中

典型應(yīng)用

  • 高真空壓力監(jiān)控
  • 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
  • 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型 PEG100
測(cè)量范圍 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度  
10-8 至 10-4 毫巴 % of reading ±30
壓力，（） bar 10
溫度  
運(yùn)行（環(huán)境） °C +10 to +50
貯存 °C -20 to +75
無電子設(shè)備，烘烤 °C 350
帶電子元件，在法蘭處烘烤 °C 70
供應(yīng)  
電壓 V (dc) 14.5 to 36
消耗， W <2
輸出信號(hào)模擬  
輸出信號(hào) V 0 to 10.6
測(cè)量范圍 V 0.66 to 10
電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系 volts per decade 1.333
連接器 FCC 68, female, 8 pin (shielded)
電纜長(zhǎng)度，（模擬） m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
內(nèi)部容積 cm3 (in.3) 21 (1.28)
重量，接近 g 500
保護(hù)類型 IP40
DeviceNet™  
設(shè)備類型 generic
顯示對(duì)等網(wǎng)絡(luò)傳訊 no
I / O 對(duì)等傳訊 no
配置一致性值 no
默認(rèn)節(jié)點(diǎn)恢復(fù) no
波特率 kBaud 125 / 250 / 500
主板 / 掃描器 no
I / O 從屬傳訊： 位觸發(fā) yes
I / O 從屬傳訊： 輪詢 yes
I / O 從屬傳訊： 周期 yes
I / O 從屬傳訊： 狀態(tài)改變 (COS) yes
DeviceNet™ 電源 V (dc) 11 to 25
DeviceNet™ 連接器 Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP  
支持的波特率（自動(dòng)檢測(cè)） kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
擴(kuò)展的用戶參數(shù)數(shù)據(jù) byte 5
配置： 輸入輸出數(shù)據(jù)數(shù)量 2
同步模式和凍結(jié)模式 Yes
Profibus 的連接器 D-sub, 9 pin
PEG100 中真空至超高真空真空計(jì)     

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