印前設(shè)備 印刷機械 印后設(shè)備 裝訂設(shè)備 廣告設(shè)備 辦公設(shè)備 印刷機械配件 其它印刷相關(guān)器材 其它印刷設(shè)備
北京金盛微納科技有限公司
北京金盛微納科技有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-07-03 09:16:34瀏覽次數(shù)：156次
聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)本設(shè)備是“標準型等離子體化學氣相淀積臺(PECVD)"的全自動產(chǎn)品
本設(shè)備是“標準型等離子體化學氣相淀積臺(PECVD)"的全自動產(chǎn)品?？捎脕淼矸eSiO2、Si3N4、非晶硅、碳化硅、類金剛石等多種薄膜材料，這些薄膜材料在微電子、微機械、光電子、通訊等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用；在能源材料、機械材料、各種無機材料及高分子材料的薄膜制備和表面改性中，也顯示出的功能和巨大的潛力。
詳細描述
本設(shè)備通過對真空系統(tǒng)、工作壓強、射頻電源匹配、氣體流量及工藝過程的全自動控制，使工藝重復性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。
本設(shè)備的數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺。
本設(shè)備通過軟、硬件相互配合的互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點保護等設(shè)計，結(jié)合各種硬保護裝置、使設(shè)備的安全性、可靠性得到有效保證。
本設(shè)備主要用于微電子、光電子、通訊、微機械等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造，以及能源材料、機械材料，各種無機材料及高分子材料的薄膜制備和表面改性。
產(chǎn)品主要性能指標
型號 | PECVD-802 |
淀積室數(shù)量 | 雙室 |
淀積室規(guī)格 | ?400×150mm |
樣片臺尺寸 | ?290mm（熱均勻區(qū)?220mm） |
加熱溫度 | ≤ 300℃ |
淀積材料 | SiO2、Si3N4、非晶硅、碳化硅、類金剛石等 |
淀積速率 | 200 - 300 ?/min （與淀積材料和工藝有關(guān)） |
淀積不均勻性 | ≤ ±5% |
自動化程度 | 真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動化控制。 |
人機界面 | Windows環(huán)境、觸摸屏操作 |
操作方式 | 全自動方式、非全自動方式 |
自動化裝置的選配 | 可選擇進口件或國產(chǎn)件 |
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
包裝印刷網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
