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中山安源儀器有限公司


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日立SU3500掃描電子顯微鏡

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更新時間:2023-11-01 09:40:40瀏覽次數(shù):252次

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產品簡介

高畫質的鎢燈絲掃描電鏡,圖象質量更進一步

詳細介紹

高畫質的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質量更進一步。

通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心"。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率"的全新電子光學系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能"*1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器"*1它為觀察和分析提出了嶄新的標準。

特點

低加速電壓觀察時分辨率更高,可更好地觀察樣品表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞

全新設計的電子光學系統(tǒng)和信號處理技術實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察

和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動功能縮短*3了大約11秒

具有在低真空時可以非常好地觀察樣品表面的細微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)"*4

具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能"*4

規(guī)格

項目

描述

二次電子分辨率

3.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm高真空模式)
7.0 nm(加速電壓=3 kV,WD=5 mm高真空模式)

背散射電子分辨率

4.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm低真空模式)
10.0 nm(加速電壓=5 kV,WD=5 mm高真空模式)

放大倍率

5 - 300,000倍(底片倍率*5
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6

加速電壓

0.3~30kV

可變壓力范圍

6~650Pa

樣品尺寸

直徑 200 mm

樣品臺

X

0~100mm

Y

0~50mm

Z

5~65mm

R

360°

T

-20~90°

可觀察區(qū)域

直徑 130 mm(旋轉并用)

樣品高度

80mm(WD=10mm)

馬達臺

5軸標配

電子光學系統(tǒng)

電子槍

預對中的鎢燈絲

物鏡光闌

4孔可動光闌

探檢測器

埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
高靈敏度半導體背散射電子檢測器

EDX分析 WD

10 mm(取出角35°)

圖像顯示

操作系統(tǒng)

Windows®7(有更改,恕不另行通知)

圖像顯示模式

全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號混合模式

排氣系統(tǒng)

操作

全自動排氣

渦輪分子泵

261升/秒 × 1

機械泵

135 L/min.(162 L/min.,60Hz) × 1



觀察



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