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行業(yè)產(chǎn)品

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中山安源儀器有限公司


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日立FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡

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品       牌

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更新時間：2023-11-02 09:44:25瀏覽次數(shù)：321次

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產(chǎn)品簡介

特點緊湊型設(shè)計

詳細介紹


特點

緊湊型設(shè)計，分辨率為4 nm*1

通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

操作簡捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片

新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野

大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2

規(guī)格

項目

內(nèi)容

分解能*3

4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）
15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）
5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）

加速電壓

0.3 kV ～ 20 kV

放大倍率

6× ～ 300,000× （底片倍率）
16× ～ 800,000× （顯示倍率）

低真空模式

真空范圍：6 ～ 100 Pa

電子槍

預(yù)對中鎢燈絲

樣品臺

3-軸自動馬達臺
X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm
R：360°, T：-15° ～ ＋90°

樣品尺寸

直徑80 mm

樣品高度

40 mm

尺寸

主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm
供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm

探測器選配

· 高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）

· 能量分散型X線探測器（EDS）


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