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更新時間：2023-08-20 11:41:43瀏覽次數(shù)：474次

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備配置	2C2D、4C、4D
設(shè)備產(chǎn)能	110WPH
襯底材質(zhì)	Si、Glass等
線寬	≥90nm
適用工藝	i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC
應(yīng)用領(lǐng)域	IC、*封裝、MEMS、功率器件、半導(dǎo)體光學(xué)、科研等
技術(shù)特征	?設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配； ?熱板采用漸進(jìn)式烘烤，冷盤漸進(jìn)式冷卻； ?能適應(yīng)5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝； ?標(biāo)配電動泵，標(biāo)配勻膠顯影管路溫控功能； ?可實現(xiàn)兩種尺寸兼容； ?可選配高精度熱板、光學(xué)對中、WEE等單元部件； ?可選配interface模塊,實現(xiàn)Inline功能。
設(shè)備尺寸	210028502500mm（WDH）