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6英寸勻膠顯影機標準型 ACD6 COATER&DEVELOPER 返回列表頁

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更新時間：2023-08-20 11:38:14瀏覽次數(shù)：448次

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產(chǎn)品簡介

設備配置2C2D、4C、4D設備產(chǎn)能180WPH襯底材質(zhì)Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0

設備配置	2C2D、4C、4D
設備產(chǎn)能	180WPH
襯底材質(zhì)	Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等
線寬	≥0.35um
適用工藝	G-line、i-line、PI
應用領(lǐng)域	MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、LED、科研等
技術(shù)特征	?設備采用高速機械手、產(chǎn)能高，穩(wěn)定性好； ?配置有RRC功能，光刻膠4寸用量可控制在0.6ml； ?設備故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳椋?/span> ?光刻膠采用精密計量泵供應，精度高，供液穩(wěn)定，出膠量設定方便； ?可做兩種尺寸兼容，不需要更換零件； ?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。
設備尺寸	165014502040mm（WDH）