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8英寸勻膠顯影機 ACD8 COATER&DEVELOPER 返回列表頁

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更新時間：2023-08-20 11:40:10瀏覽次數(shù)：542次

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產(chǎn)品簡介

設備配置	2C2D、4C、4D
設備產(chǎn)能	120WPH
襯底材質(zhì)	Si、Glass等
線寬	≥90nm
適用工藝	i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC
應用領域	IC、*封裝、MEMS、功率器件、射頻集成、科研等
技術(shù)特征	?設備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配； ?熱板采用漸進式烘烤，冷盤漸進式冷卻； ?能適應5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝； ?標配電動泵，標配勻膠顯影管路溫控功能； ?可實現(xiàn)兩種尺寸兼容； ?可選配高精度熱板、光學對中、WEE等單元部件； ?可選配interface模塊,實現(xiàn)Inline功能。
設備尺寸	168015502500mm（WDH）