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通過(guò)選擇合適的配方，F(xiàn)TPadv反射儀以小于100ms的測(cè)量速度、精度小于0.3nm、厚度范圍為50nm-25μm的精度進(jìn)行厚度測(cè)量。

自動(dòng)建模

通過(guò)測(cè)量反射光譜和光譜數(shù)據(jù)庫(kù)的比較，將測(cè)量誤差減到很小。

光譜橢偏SE為基礎(chǔ)的材料數(shù)據(jù)庫(kù)

基于SENTECH精確的橢偏光譜測(cè)量的大型材料庫(kù)為測(cè)量新材料的光學(xué)常數(shù)提供了配方。

應(yīng)用

二十年來(lái)，SENTECH已經(jīng)成功地銷(xiāo)售了用于各種應(yīng)用的薄膜厚度探針FTPadv。這種臺(tái)式反射儀的特點(diǎn)是不管在低溫或高溫下，在工業(yè)或研發(fā)環(huán)境中，都能通過(guò)遠(yuǎn)程或直接控制，對(duì)小樣品或大樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)或在線厚度測(cè)量。

臺(tái)式反射儀FTPadv精確、可重復(fù)地測(cè)量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以結(jié)合在顯微鏡上，或者配備有穩(wěn)定的光源，用于測(cè)量厚度達(dá)到25 µm (根據(jù)要求可更厚)的膜層。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經(jīng)驗(yàn)中受益的預(yù)定義的、經(jīng)由客戶驗(yàn)證的、以及隨時(shí)可以使用的應(yīng)用程序的廣泛數(shù)據(jù)庫(kù)。

FTPadv的特征在于對(duì)來(lái)自疊層樣品的任何膜層的厚度進(jìn)行測(cè)量，使得FTPadv成為膜厚測(cè)量的理想成本效益的解決方案。用于工藝控制的FTPadv包括具有采樣器的光纖束、具有鹵素?zé)舻姆€(wěn)定光源以及FTP光學(xué)控制站。局域網(wǎng)連接到PC允許了遠(yuǎn)程控制的FTPadv在工業(yè)應(yīng)用，如惡劣環(huán)境，特殊保護(hù)空間或大型機(jī)械。

反射儀FTPadv帶有大量預(yù)定義的配方，例如半導(dǎo)體上的介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、硅上的聚合物、透明襯底上的膜、金屬襯底上的膜等等。自動(dòng)建模特性允許通過(guò)與光譜庫(kù)的快速比較來(lái)檢測(cè)樣本類(lèi)型。該反射儀將操作誤差減到很小。用光學(xué)反射法測(cè)量膜厚從未如此容易。

SENTECH FTPadv菜單驅(qū)動(dòng)的操作軟件允許單層和疊層結(jié)構(gòu)的厚度測(cè)量，具有操作指導(dǎo)。此外，它還具有強(qiáng)大的分析工具和出色的報(bào)告輸出功能。附加的自動(dòng)掃描軟件可用于控制電動(dòng)樣品臺(tái)。將軟件升級(jí)到用于反射測(cè)量的高級(jí)分析的軟件包FTPadv EXPERT，即可應(yīng)用于具有未知或不恒定光學(xué)特性的材料。因此，單層薄膜厚度測(cè)量以及折射率和消光系數(shù)分析是可實(shí)現(xiàn)的。