借鑒內(nèi)部參考技術(shù)，不需要在單獨(dú)的位置上進(jìn)行外部參考測(cè)量。這保證了連續(xù)多點(diǎn)薄膜測(cè)量的速度。

多探頭裝置

多達(dá)7個(gè)傳感器探頭由一個(gè)控制器驅(qū)動(dòng)，為均勻性監(jiān)測(cè)提供了具有成本效益的解決方案。

SENTECH軟件

易于使用、基于配方的FTP軟件包括一個(gè)大型的預(yù)定義應(yīng)用數(shù)據(jù)庫(kù)，這些應(yīng)用符合研發(fā)以及生產(chǎn)環(huán)境中的質(zhì)量控制要求。

RT inline 薄膜測(cè)量系統(tǒng)是為沉積過(guò)程的在線質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)的。該方法基于SENTECH的薄膜厚度探針FTPadv，用于測(cè)量反射率和薄膜厚度。它分別工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光譜范圍內(nèi)?？梢苑治龉饣图y理結(jié)構(gòu)的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

通過(guò)RT inline，可以無(wú)損傷地監(jiān)測(cè)大型玻璃基板或塑料線圈上TCO、吸收層和緩沖層沉積的均勻性。薄膜厚度和反射率測(cè)量是通過(guò)固定安裝的傳感器探頭在玻璃基板上方從沉積設(shè)備傳送到下一個(gè)工藝期間進(jìn)行的。

一個(gè)控制器可以操作多達(dá)7個(gè)傳感器，使得RT inline測(cè)量?jī)x器具有成本效益、靈活性和生產(chǎn)性的結(jié)果。選配的超聲傳感器控制探頭和玻璃平臺(tái)之間的距離，以排除錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果。

SENTECH配方驅(qū)動(dòng)的FTP軟件FTPadv Expert包括預(yù)定義的即用應(yīng)用程序綜合包。它提供了一個(gè)選配的軟件接口，用于將數(shù)據(jù)從測(cè)量?jī)x器傳輸?shù)街鳈C(jī)。因此，可以通過(guò)來(lái)自主機(jī)或傳送的信號(hào)手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行薄膜測(cè)量。

使用SENTECH SENresearch光譜橢偏儀開發(fā)的配方可以直接傳輸?shù)絉T inline中?；谶@樣的光譜數(shù)據(jù)，甚至可以在線測(cè)量復(fù)雜的層疊膜。