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首昂光電(上海)有限公司


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臥式甩干機SA-SV702-D

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-08-30 09:30:25瀏覽次數(shù):129次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:29條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

臥式甩干機SA-SV702-D為本公司針對4~6"制程之需求,可控制0.3微塵顆粒70顆,其功能主要有清洗,高速脫水,低速烘干

詳細介紹

臥式甩干機SA-SV702-D

為本公司針對4~6"制程之需求,可控制0.3微塵顆粒70顆,其功能主要有清洗,高速脫水,低速烘干。


技術(shù)參數(shù):

1、設(shè)備用于4~6英寸硅片甩干工藝。

2、每批處理晶圓數(shù)量為50片,25片/腔體。

3、甩干機為上下雙工藝腔體設(shè)計,腔室內(nèi)部為不銹鋼,特殊工藝可依據(jù)客戶要求鍍特氟龍防腐鍍層。

4、轉(zhuǎn)子的動平衡為片盒中的硅片從0~25片。

5、建議轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。 

6、顆粒度增加值<70 (0.3 um) ; 甩干后表面無水漬、無污染物。

用于4寸~6寸晶片的清洗甩干,能根據(jù)客戶定制各種規(guī)格。

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