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武漢中弘精密機械有限公司


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ZHQF-06-06 600mm*600mm精密級氣浮光學平臺

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產品簡介

ZHQF-06-06600mm*600mm精密級氣浮光學平臺產品特點:■中弘精密研發(fā)生產的精密氣浮光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動環(huán)境,以發(fā)揮設備儀器的效能

詳細介紹

ZHQF-06-06 600mm*600mm精密級氣浮光學平臺產品特點:

■中弘精密研發(fā)生產的精密氣浮光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動環(huán)境,以發(fā)揮設備儀器的效能。

■適合于顯微鏡、光路測試、光學測量、激光干涉、激光掃描、光譜實驗等領域應用。

■優(yōu)異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。

■自動調節(jié)水平功能:放置負載的位置發(fā)生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執(zhí)行德國FESTO產品,標配優(yōu)質壓縮機。

■臺板采用鋼制芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點,上面板為icr17優(yōu)質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學元件。

■隔振支撐為優(yōu)質鋼管焊接而成,整體堅固可靠。

■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。

ZHQF系列精密級氣浮光學平臺技術指標:

■平面度:≤0.05mm/m2

■表面粗糙度:≤0.8μm

■固有頻率;x方向:1.2Hz~2.0Hz y方向:1.2Hz~2.0Hz

■振幅:<1.2μm

■荷載能力:500kg/m2

■重復定位精度:±0.05mm

產品型號

規(guī)格尺寸(mm)

臺面厚度(mm)

臺面重量(kg)

支撐腿數量

ZHQF-06-06

600×600×800

80

54

4

ZHQF-075-075

750×750×800

80

85

4


ZHQF-09-06

900×600×800

100

81

4


ZHQF-10-07

1000×700×800

100

105

4


ZHQF-10-08

1000×800×800

100

120

4


ZHQF-12-08

1200×800×800

150

144

4


ZHQF-15-09

1500×900×800

200

202

4


ZHQF-15-10

1500×1000×800

200

210

4


ZHQF-16-09

1600×900×800

200

216

4


ZHQF-18-12

1800×1200×800

200

324

4


ZHQF-20-10

2000×1000×800

200

300

4


ZHQF-20-12

2000×1200×800

250

360

4


ZHQF-24-12

2400×1200×800

250

432

4


ZHQF-30-10

3000×1000×800

250

480

4


ZHQF-30-12

3000×1200×800

300

576

4


ZHQF-30-15

3000×1500×800

300

720

6


ZHQF-35-12

3500×1200×800

300

672

6


ZHQF-35-15

3500×1500×800

300

840

6


ZHQF-40-15

4000×1500×800

350

960

6


ZHQF-42-15

4200×1500×800

350

1008

8


ZHQF-48-15

4800×1500×800

400

1152

8


ZHQF-50-15

5400×1500×800

450

1200

12


ZHQF-60-15

6000×1500×800

450

1440

12


各種尺寸,異形平臺均可定制



ZHQF系列氣浮光學平臺選型表及參數:

臺面規(guī)格

尺寸(mm)

載荷(kg)

支撐腿數量

支架寬度

06-06

600×600×800

800

4

120*120

075-075

750×750×800

800

4

120*120

09-06

900×600×800

800

4

120*120

10-07

1000×700×800

800

4

120*120

10-08

1000×800×800

800

4

120*120

12-08

1200×800×800

800

4

120*120

15-09

1500×900×800

1400

4

200*200

15-10

1500×1000×800

1400

4

200*200

16-09

1600×900×800

1400

4

200*200

18-12

1800×1200×800

1400

4

200*200

20-10

2000×1000×800

1400

4

200*200

20-12

2000×1200×800

1400

4

200*200

20-15

2000×1500×800

1400

4

200*200

24-12

2400×1200×800

1400

4

200*200

24-15

2400×1500×800

2000

4

200*200

30-10

3000×1000×800

2000

4

200*200

30-12

3000×1200×800

2000

4

200*200

30-15

3000×1500×800

2000

6

200*200

35-12

3500×1200×800

2000

6

200*200

35-15

3500×1500×800

2000

6

200*200

40-15

4000×1500×800

2500

6

200*200

42-15

4200×1500×800

2500

8

200*200

48-15

4800×1500×800

2500

8

200*200

50-15

5400×1500×800

2500

12

200*200

60-15

6000×1500×800

2500

12

200*200

氣浮光學平臺,精密氣浮光學平臺,氣浮隔震光學平臺,精密光學平臺


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