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ZHQF-K科研級氣浮隔振光學平臺

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產品簡介

ZHQF-K科研氣浮隔振光學平臺應用領域:適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用產品特點:■中弘精密依托于光電子產業(yè)科研工作人員,研發(fā)制造的一款通用性隔振光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動環(huán)境,以發(fā)揮設備儀器的效能

詳細介紹

ZHQF-K科研氣浮隔振光學平臺

應用領域:

適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

產品特點:

■中弘精密依托于光電子產業(yè)科研工作人員,研發(fā)制造的一款通用性隔振光學平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求,且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案,改善振動環(huán)境,以發(fā)揮設備儀器的效能。

■優(yōu)異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)秀的固有頻率,對多個方向的振動尤其是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。

■自動調節(jié)水平功能:放置負載的位置發(fā)生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執(zhí)行德國FESTO產品標準,標配優(yōu)質壓縮機。

■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點,上面板為1cr17優(yōu)質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果,面板具有M6螺孔陣列,易于固定光學元件。

■隔振支撐為優(yōu)質鋼管焊接而成,整體堅固可靠。

■工作壓力為0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。

技術指標:

■平面度:< 0.05mm/m2

■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有頻率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.7Hz

■減振效率:x方向<5Hz時:88%~94% y方向<5Hz時:86%~92%

x方向<10Hz時:92%~98% y方向<10Hz時:90%~95%

臺面內部支撐:純蜂窩杯內芯支撐結構,粘接工藝,無焊接應力;

蜂窩杯狀芯板:內部蜂窩狀芯板采用的是不銹鋼 、鋁板,鍍鋅板等防 腐材料,內芯密度≥250kg/m3;

■振幅:< 1μm

■荷載能力:500kg/m2

■重復定位精度:±0.05mm

產品型號:(接受客戶任意規(guī)格定制生產)

產品型號

規(guī)格(mm)

支撐

平板厚度

臺面厚度

螺孔/間距

ZHQF-K-06-06

600*600*800

4

6

50

M6/25*25

ZHQF-K-075-075

750*750*800

4

6

50

M6/25*25

ZHQF-K-09-06

900*600*800

4

6

80

M6/25*25

ZHQF-K-10-08

1000*800*800

4

6

100

M6/25*25

ZHQF-K-12-08

1200*800*800

4

6

100

M6/25*25

ZHQF-K-15-10

1500*1000*800

4

8

150

M6/25*25

ZHQF-K-16-10

1600*1000*800

4

8

150

M6/25*25

ZHQF-K-18-12

1800*1200*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-20-10

2000*1000*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-20-12

2000*1200*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-20-15

2000*1500*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-24-12

2400*1200*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-24-15

2400*1500*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-30-10

3000*1000*800

6

10

200

M6/25*25

ZHQF-K-30-12

3000*1200*800

6

10

200

M6/25*25

ZHQF-K-30-15

3000*1500*800

6

10

250

M6/25*25

ZHQF-K-35-12

3500*1200*800

6

10

250

M6/50*50

ZHQF-K-40-15

4000*1500*800

6

10

300

M6/50*50

ZHQF-K-45-15

4500*1500*800

6

12

300

M6/50*50

ZHQF-K-50-15

5000*1500*800

6

12

300

M6/100*100

臺面細節(jié)圖

精密研磨處理

ZHQF-K科研級氣浮隔振光學平臺(圖1)

表面平整精度

ZHQF-K科研級氣浮隔振光學平臺(圖2)

內核采用粘結蜂窩芯及隔離杯結構或焊接鋼制蜂窩結構(用戶可選)

ZHQF-K科研級氣浮隔振光學平臺(圖3)


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