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等離子去膠設備CPN-H79-22A型

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更新時間：2023-06-29 12:47:35瀏覽次數(shù)：163次

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產品簡介

CPN-H79-22A型等離子去膠設備用途：用于生產半導體器件干法工藝中的芯表面光刻膠的干法去除，并且也可兼做刻蝕工藝

詳細介紹

CPN-H79-22A型等離子去膠設備

用途：用于生產半導體器件干法工藝中的芯表面光刻膠的干法去除，并且也可兼做刻蝕工藝。


主要技術指標：

       1、主機電源：380V/50Hz      1Kw

       2、反應室結構：不銹鋼籠式

       3、 射頻電源：f=13.56MC   p=0～500W

       4、 駐波比＜1.5  帶有匹配絡和功率計 

       5、 裝片直徑：Ф100mm

       6、裝片量：60片

       7、去膠速率：1000A°/min

       8、尺寸：750×500×1400（mm）重量：120Kg


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