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等離子去膠設(shè)備CPN-H79-22型

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更新時間：2023-06-29 12:44:36瀏覽次數(shù)：153次

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產(chǎn)品簡介

一、主要供半導(dǎo)體器件、集成電路生產(chǎn)過程中作等離子去膠工藝用，同時也可兼作刻蝕工藝使用

詳細(xì)介紹

一、主要供半導(dǎo)體器件、集成電路生產(chǎn)過程中作等離子去膠工藝用，同時也可兼作刻蝕工藝使用。其特點：去膠工藝簡單、可靠、速率快、去膠容量大、成品高；并避免了對環(huán)境的污染。

二、該設(shè)備和H79-22A有著相同的效果，區(qū)別在于如下：1.射頻電源：f=10～18Mc（自激式電源）。2.結(jié)構(gòu)簡單價格性能比高。


主要技術(shù)指標(biāo)：

      （1）  主機電源：380V/50Hz      1Kw

      （2）反應(yīng)室結(jié)構(gòu)：不銹鋼籠式

      （3）射頻電源：f=13.56MC   p=0～500W

      （4）駐波比＜1.5  帶有匹配絡(luò)和功率計                                                                                                                                        （5） 裝片直徑：Ф100mm

      （6）裝片量：60片

      （7）去膠速率：1000A°/min

      （8）尺寸：750×500×1400（mm）重量：120Kg


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