主要組成部分：該設(shè)備主要由主軸單元、顯影液供給系統(tǒng)（附加恒溫裝置）、清洗系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成，采用框架結(jié)構(gòu)，外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼鏡面護(hù)板，無發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒，工作方式為手動上下片，自動完成顯影、清洗、（氮氣吹干）等工藝。

詳細(xì)介紹

顯影單元參數(shù)：　　　
離心機
額定轉(zhuǎn)速（德國電機）： 0～5000rpm
轉(zhuǎn)速最小調(diào)整量：　 1rpm
轉(zhuǎn)速精度：　 ±1rpm（500~300rpm）
加速度：　 20000rpm/s
加速度最小調(diào)整量：　1RPM/S
承片臺(chuck)
材料：　　　防靜電PEEK材質(zhì)(兩個)與
晶片接觸方式：　　真空吸附
吸附真空度檢測：　　數(shù)顯壓力傳感器半自動顯影機

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