中國.鑫有研電子科技有限公司
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更新時間：2023-07-04 09:02:30瀏覽次數(shù)：370次
聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)單面自動紫外光刻機型號：URE-2000/35A簡單介紹：光刻機：(英文名：MaskALIGENER)又名曝光機,該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復位實現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度
單面自動紫外光刻機
型號：URE-2000/35A
簡單介紹：光刻機：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復位實現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現(xiàn)均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高；
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達500μm；
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲；
5、電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復性好；
7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；
8、對準完成，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察；
9、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999.9s）；
10、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
11、汞燈具有高亮度和“待機"兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光時采用低亮度的“待機"，從而延長了汞燈壽命。
12、設備外形美觀精制，性能非?？煽浚?/p>
13、上下片、版十分方便，自動化程度很高，操作簡便。
二．技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積：150mm×150mm
2、分辨力：1μm（膠厚2mm的正膠）
3、對準精度：：±0.5μm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應非標準片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm(可擴展為15mm)
8、照明均勻性：±3.5%（Ф100mm范圍）
9、掩模相對于樣片運動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11、曝光波長：365nm（進口汞燈）
12、曝光能量密度：25mW/cm 可以根據(jù)需要增強或調(diào)弱(420nm以上波長小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s—9999.9s）
應用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統(tǒng)、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等
URE系列紫外光刻機系我公司重點推薦產(chǎn)品
曾出口：新加坡，韓國，朝鮮，緬甸，老撾等
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