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中國.鑫有研電子科技有限公司

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URE2000/35A型自動光刻機(jī)

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更新時間：2023-07-04 09:02:30瀏覽次數(shù)：394次

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中國.鑫有研電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

單面自動紫外光刻機(jī)型號：URE-2000/35A簡單介紹：光刻機(jī)：(英文名：MaskALIGENER)又名曝光機(jī),該型號光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對準(zhǔn)精度

詳細(xì)介紹

單面自動紫外光刻機(jī)

型號：URE-2000/35A

簡單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點(diǎn)。

一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；

1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高；

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

3、自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；

4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲；

5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；

7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；

8、對準(zhǔn)完成，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察；

9、快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計(jì)時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）；

10、采用350W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；

11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)"兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光時采用低亮度的“待機(jī)"，從而延長了汞燈壽命。

12、設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?；

13、上下片、版十分方便，自動化程度很高，操作簡便。

二．技術(shù)參數(shù)

1、曝光面積：150mm×150mm

2、分辨力：1μm（膠厚2mm的正膠）

3、對準(zhǔn)精度：：±0.5μm

4、掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：6mm;Y:6mm

5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)

7、厚度0.1mm-6mm(可擴(kuò)展為15mm)

8、照明均勻性：±3.5%（Ф100mm范圍）

9、掩模相對于樣片運(yùn)動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率：350W（直流）

11、曝光波長：365nm（進(jìn)口汞燈）

12、曝光能量密度：25mW/cm 可以根據(jù)需要增強(qiáng)或調(diào)弱(420nm以上波長小于0.1mW/cm )

13、曝光方式：定時（到計(jì)時方式0.1s—9999.9s）

應(yīng)用領(lǐng)域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

URE系列紫外光刻機(jī)系我公司重點(diǎn)推薦產(chǎn)品

曾出口：新加坡，韓國，朝鮮，緬甸，老撾等

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