系統(tǒng)參數(shù):

◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器,

◆視場(chǎng)放大倍率：高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

◆成像放大: 電動(dòng)3 位系統(tǒng)成像放大

◆視場(chǎng):0.03-14mm，跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍

◆光源: 均勻成像，高效率，特殊設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

◆控制 :濾光板托架，視場(chǎng)光闌（輔助聚焦）

◆測(cè)量陣列:標(biāo)配640×480 像素；640×480，320×240，160×120 像素,可選更高分辨率992×999

◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察

◆精密聚焦 :電控手動(dòng)和自動(dòng)聚焦

◆Z 軸驅(qū)動(dòng):直流無(wú)刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ，NewView：81×58×41cm ，防振臺(tái)：76X61X61,工作臺(tái)：85X132X89cm 

◆重量 :系統(tǒng)重量：約430Kg

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)

◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動(dòng)6 位塔臺(tái)；電控 6 位塔臺(tái)；

◆樣品臺(tái):手動(dòng),俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動(dòng),俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動(dòng), 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta）和XY 平移(±76mm) 三種可選

◆縱向掃描:150μm，拓展掃描模式可到20mm,

◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.36～9.5μm，與所選物鏡有關(guān),

◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān)

◆大數(shù)據(jù)點(diǎn): 標(biāo)準(zhǔn)307200；可選984064；

◆RMS 重復(fù)性 ＜0.01 nm， RMSσ

◆臺(tái)階測(cè)量 :準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

◆測(cè)樣品特性:各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));反射率: 1-99%