系統(tǒng)：

◆測量功能：精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學系統(tǒng)的傳輸波前

◆測量技術(shù)：DynaPhase動態(tài)測量技術(shù)；可選模式：機械相移測量（PSI）

◆校準系統(tǒng)：

◆動態(tài)模式：DyanaPhase 對準向?qū)剩?/span>

◆移相模式：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)

◆對準視場范圍FOV ：±3°

◆測量光束直徑： 4″（102mm）

◆光學中心線 ：4.25″（108mm）

◆激光光源：大功率穩(wěn)定氦-氖激光，III

◆波長： 633 nm

◆頻率穩(wěn)定度： < 0.0001 nm

◆相干長度 ：＞100m

◆成像分辨率：1200 x 1200 像素

◆幀速：50Hz（600 x 600 像素：82Hz）

◆數(shù)據(jù)模式：10位

◆放大：電控塔臺切換，1X,1.7X,3X

◆偏振：接近圓偏振（1.2：1或者更好）

◆光曈調(diào)焦范圍： ±2m

◆無線遙控：聚焦，放大，校準控制；遙控范圍：15m

◆計算機和軟件：高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO MetroproTM X軟件

◆安裝構(gòu)造：水平臥式或垂直立式

◆附件：參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463

◆尺寸(長x寬x高) ：60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長度增加9cm（3.6in.）

◆重量 ：≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg）

◆電源 ：100-240VAC，50/60Hz

◆保修期 ：2年

技術(shù)參數(shù)：

◆RMS重復(fù)性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重復(fù)性：

動態(tài)模式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

移相模式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差：

動態(tài)模式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

移相模式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

◆條紋分辨率：

動態(tài)模式：250 條紋（每種放大倍率）

移相模式：500條紋（每種放大倍率）

◆曝光時間 ：12usec（?。?/span>

◆數(shù)據(jù)采樣速度： ≤82幅數(shù)據(jù)圖像/秒

◆LivePhaseTM ：Zernike擬合分析的實時相位信息

◆相位影像 記錄≤82幅/秒過程中的信息，可存儲為AVI格式文件和保留原始數(shù)據(jù)文件

◆外部影像：觸發(fā)器 TTL信號