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深圳市中圖儀器股份有限公司
主營產品: 激光干涉儀,測長儀,輪廓儀,壓力校驗儀 |

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更新時間:2016-10-10 17:21:05瀏覽次數(shù):525
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SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強、*穩(wěn)定性好的激光輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,結合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量;結合相應鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉軸等參數(shù)的測量,并進行動態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀性能特點:
1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器,結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作,流程清晰,更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準,價格是國內儀器的良心價。
SJ6000激光干涉儀功能:
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合,可以實現(xiàn)對線性、角度、平面度、直線度(平行度)、垂直度、回轉軸等參數(shù)的精密測量,并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態(tài)性能分析。
在相關軟件的配合下,可自動生成誤差補償方案,為設備誤差修正提供依據(jù)。
SJ6000激光干涉儀技術參數(shù):
系統(tǒng)性能
² 測量方式:單頻
² 穩(wěn)頻精度:0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率:50 kHz
² 預熱時間:約6分鐘
² 工作溫度范圍:(0~40)℃
² 環(huán)境溫度范圍:(0~40)℃,環(huán)境濕度:(0~95)%RH
² 存儲溫度范圍:(-20~70)℃
環(huán)境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測量
² 測量距離:(0~40)m
² 測量精度:0.5ppm (0~40)℃
² 測量分辨力:1nm
² 測量zui大速度:4m/s
角度測量
² 軸向量程:(0~15)m
² 測量范圍:±10°
² 測量精度:±(0.04%R)″ (R為顯示值,單位:″)
² 測量分辨力:0.1″
平面度測量
² 軸向量程:(0~15)m
² 測量范圍:±1.5 mm
² 測量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
² 基板尺寸:180mm可調,360mm可調
測量分辨力:0.1μm
直線度測量
² 軸向量程:(0.1~4.0)m
² 測量范圍:±3mm
² 測量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨力:0.01μm
垂直度測量
² 軸向量程:(0.1~3.0)m
測量范圍:±3mm
² 測量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨力:0.01μm/m
回轉軸精度測量
² 角度測量范圍:(0~360)°
² 測量精度:±1″
zui高轉速:10rpm
鋰電池供電,藍牙傳輸數(shù)據(jù)。
SJ6000激光干涉儀配置清單:
序號 | 名稱 | 明細 | 備注 |
1 | SJ6000主機 | 1臺,配云臺 | 標配 |
2 | 環(huán)境補償單元 | 1套,配1個空氣溫度探頭和3個材料溫度探頭 | 標配 |
3 | 筆記本電腦 | 1臺,配測量軟件 | 標配 |
4 | 便攜式拉桿箱 | 1個,尺寸:560mm×460mm×270mm | 標配 |
5 | 通用三腳架 | 1個 | 標配 |
6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡、線性反射鏡,各1個 | 標配 |
7 | 鏡組安裝配件 | 磁性座2個 | 標配 |
安裝柱4節(jié) | |||
輔助安裝塊2塊 | |||
夾緊塊2個(帶鎖緊螺絲) | |||
測頭夾具1個(內徑:φ32mm) | 選配 | ||
8 | 輕型線性附件 | 小角錐反射鏡、縮光鏡,各1個 | 選配 |
9 | 遠距離線性附件 | 大角錐反射鏡、遠距離分光鏡,各1個 | 選配 |
10 | 可調轉向鏡 | 可調轉向鏡1個 | 選配 |
11 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡,各1個 | 選配 |
12 | 平面度鏡組 | 平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用 | 選配 |
平面度反射鏡2個 | |||
180mm可調基板、360mm可調基板,各1個 | |||
13 | 直線度鏡組 | 直線度干涉鏡、直線度反射鏡,各1個 | 選配 |
直線度附件1套 | |||
14 | 垂直度鏡組 | 垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用 | 選配 |
光學直角尺、垂直度安裝三腳架,各1個 | |||
15 | 高精密轉臺 | 鋰電池供電,藍牙傳輸 | 選配 |
16 | 工作服 | 夏、冬實驗室工作服各1件 | 選配 |