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深圳市中圖儀器股份有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 激光干涉儀，測(cè)長(zhǎng)儀，輪廓儀，壓力校驗(yàn)儀 |
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深圳市中圖儀器股份有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 激光干涉儀，測(cè)長(zhǎng)儀，輪廓儀，壓力校驗(yàn)儀 |
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更新時(shí)間：2016-10-10 17:18:28瀏覽次數(shù)：515
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激光干涉儀是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量的儀器。激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問世的一種新型的測(cè)量設(shè)備，由美國(guó)HP公司研制成功并于1970年投入市場(chǎng)，隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機(jī)床制造業(yè)的重視，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著測(cè)量技術(shù)的不斷提高，測(cè)量軟件的不斷開發(fā)其測(cè)量范圍越來越廣泛，特別是在測(cè)量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途。
功能：
是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。
配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。
也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。
具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量 元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
序號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)名稱 |
1 | ISO230-2 | 老版標(biāo)準(zhǔn) |
2 | ISO230-1997 | 新版標(biāo)準(zhǔn) |
3 | ANSI B5.54 | 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
4 | ASME B89.1.12M | 美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) |
5 | NMTBA | 美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) |
6 | BS 3800 | 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
7 | BS 4656 | 英國(guó)三測(cè)機(jī)標(biāo)準(zhǔn) |
8 | JIS B6330 | 日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
9 | GB 17421-2000 | 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
10 | VDI 3441 | 德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
SJ6000技術(shù)指標(biāo)：
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘
² 工作溫度范圍：(0~40)℃
² 環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH
² 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：(0~40)m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃
² 測(cè)量分辨力：1nm
² 測(cè)量zui大速度：4m/s
角度測(cè)量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
² 測(cè)量分辨力：0.1″
平面度測(cè)量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測(cè)量分辨力：0.1μm
直線度測(cè)量
² 軸向量程：(0.1~4.0)m
² 測(cè)量范圍：±3mm
² 測(cè)量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 測(cè)量分辨力：0.01μm
垂直度測(cè)量
² 軸向量程：(0.1~3.0)m
測(cè)量范圍：±3mm
² 測(cè)量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 測(cè)量分辨力：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍：(0~360)°
² 測(cè)量精度：±1″
zui高轉(zhuǎn)速：10rpm
鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。
