硒化鋅(ZnSe)窗ko jing片在鍍膜后產(chǎn)生的雜質(zhì)及合適的清洗方法如下:
鍍膜后產(chǎn)生的雜質(zhì):
1、有機(jī)污染物:
來(lái)源:鍍膜過(guò)程中的光刻膠殘留、油脂、指紋或環(huán)境有機(jī)物。
表現(xiàn):表面油膜、斑點(diǎn)或霧狀殘留。
2、無(wú)機(jī)顆粒:
來(lái)源:鍍膜腔體內(nèi)的粉塵、靶材濺射顆?;虬徇\(yùn)過(guò)程中的塵埃。
表現(xiàn):附著在表面的微小顆?;騽澓邸?/span>
3、水漬或溶劑殘留:
來(lái)源:清洗過(guò)程中純水或溶劑未wan quan干燥,留下痕跡。
合適清洗方法:威固特VGT-1509FH光學(xué)超聲波清洗機(jī)
1、非接觸清洗,避免表面損傷:
硒化鋅是一種脆性較高的紅外光學(xué)材料,機(jī)械擦拭易導(dǎo)致劃痕或表面損傷。超聲波清洗通過(guò)高頻振動(dòng)產(chǎn)生的空化效應(yīng),實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸清洗,避免物理摩擦對(duì)鏡片的損害。
尤其適合ZnSe表面鍍膜(如增透膜)的保護(hù),防止膜層脫落。
2、高效去除亞微米級(jí)污染物:
超聲波的空化作用可產(chǎn)生微米級(jí)氣泡爆破,能有效去除ZnSe表面的顆粒污染物(如拋光殘留物、灰塵)和有機(jī)污染物(如油脂、指紋)。
對(duì)于復(fù)雜結(jié)構(gòu)(如鏡片邊緣或凹槽),超聲波能實(shí)現(xiàn)quan fang wei清潔,避免手工清洗的盲區(qū)。
3、可控的清洗參數(shù)適配材料特性:
ZnSe對(duì)溫度和化學(xué)溶劑敏感(如易被酸性或堿性溶液腐蝕)。超聲波清洗可精確控制。
頻率(如40KHZ-100KHZ):高頻適合精密清洗,低頻用于頑固污染物。
溫度(通常≤50℃):避免高溫導(dǎo)致ZnSe熱應(yīng)力或鍍膜失效。
清洗劑選擇:使用中性或?qū)S霉鈱W(xué)清洗劑(如無(wú)水乙醇、去離子水),避免材料腐蝕。
4、均勻清洗、避免二次污染:
超聲波在清洗槽內(nèi)分布均勻,確保ZnSe鏡片表面各部位清洗效果一致,避免人工操作的不穩(wěn)定性。
清洗后可通過(guò)內(nèi)置的多級(jí)漂洗和干燥系統(tǒng)(如氮?dú)獯蹈桑p少水漬殘留,降低二次污染風(fēng)險(xiǎn)。
5、自動(dòng)化與重復(fù)性
集成自動(dòng)化流程(如機(jī)械臂搬運(yùn))適合批量處理,提高效率的同時(shí)保證每片ZnSe鏡片的清洗質(zhì)量一致,這對(duì)高精度光學(xué)元件至關(guān)重要。
6、使用注意事項(xiàng):
功率控制:過(guò)高的超聲波功率可能導(dǎo)致ZnSe表面微崩(空化沖擊),需根據(jù)鏡片厚度和鍍膜情況優(yōu)化。
溶劑兼容性:避免使用含硫、氯的溶劑,防止與ZnSe發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
威固特生產(chǎn)制作的光學(xué)超聲波清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(如頻率可調(diào)、溫控系統(tǒng)、多槽流程)使其在清洗硒化鋅鏡片時(shí)兼具安全性、高效性和一致性,特別適合紅外光學(xué)元件的高標(biāo)準(zhǔn)清潔需求。