產(chǎn)品功能
在同一光路方向，對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行位移、偏擺角和俯仰角的同步測(cè)量。
系統(tǒng)特點(diǎn)
*光導(dǎo)性激光器，體積小，重量輕。
*干涉鏡集成在激光器里，光路調(diào)節(jié)極其簡(jiǎn)單。
*反射鏡個(gè)性化設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于多種場(chǎng)合。
*三軸數(shù)據(jù)同步精度：20ns。
*所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量，無(wú)延時(shí)。
*使用高精度溫度傳感器進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償。
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào)ZLM900 | 參數(shù) |
| 位移測(cè)量范圍 | 5 m |
| 位移測(cè)量分辨率 | 20 pm |
| 位移測(cè)量精度 | ±0.1μm/m |
| 角度測(cè)量范圍 | 使用角錐反射鏡：±12.5° 使用平面反射鏡：±1.5角分（建議距離小于2m） |
| 角度測(cè)量分辨率（位移分辨率為0.1nm時(shí)） | 0.002角秒 |
| 激光束間距 | 12 mm |
| 波長(zhǎng) | 632.8nm |
| 穩(wěn)頻精度 | 2x10^-8 |
| 預(yù)熱時(shí)長(zhǎng) | 10-20分鐘 |
| 工作溫度 | 15-30℃ |
| 激光器含基座尺寸 | 202x137x72 mm |
| 反射鏡尺寸 | 45x45x20 mm |
| 數(shù)據(jù)處理器尺寸 | 450x450x150 mm |
| 激光器含基座重量 | 1.9 kg |
| 反射鏡重量 | 80 g |
| 數(shù)據(jù)處理器重量 | 8 kg |
| 數(shù)據(jù)接口 | RS232C、USB |
| 激光器與數(shù)據(jù)處理器之間線纜長(zhǎng)度 | 3 m （可選10 m） |
| 工作電源 | 100-240VAC，47-63Hz |
| 激光安全等級(jí) | 2M，II |
系統(tǒng)構(gòu)成
1.三維激光器及安裝底座 一套
2.三維反射鏡 一個(gè)
3.三軸數(shù)據(jù)處理器 一套
4.環(huán)境補(bǔ)償器 一套
系統(tǒng)示意圖
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