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多軸路同步測量激光干涉儀（型號：ZLM800，德國JENAer公司生產(chǎn)，）

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公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
品牌
型號
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2022/4/26 15:45:56
訪問次數(shù)591

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公司介紹主營產(chǎn)品

　　上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司(意大利帕瓦內(nèi)稱重系統(tǒng)有限公司中國聯(lián)絡(luò)處)——主要從事工業(yè)自動化儀器儀表、機械設(shè)備、電子產(chǎn)品、五金交電及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。我們致力于將歐美*的工業(yè)自動化儀器儀表和機械設(shè)備介紹到中國，滿足中國各行業(yè)市場對工業(yè)產(chǎn)品的需要。

　　我們經(jīng)營產(chǎn)品主要包括稱雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、材料色散測量儀、相位波前角色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀、載波包絡(luò)相移測量儀、激光對中儀、激光平面度測量儀、激光同軸度測量儀、激光孔位測量儀、重傳感器、稱重變送器、稱重接線盒、PT100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、電壓信號轉(zhuǎn)換器、電流信號轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號-頻率轉(zhuǎn)換器、模擬量信號轉(zhuǎn)頻率信號等。

　　除實物產(chǎn)品外，我們還提供各種自動化控制系統(tǒng)的成套設(shè)計、通訊程序編寫及各種配套方案等技術(shù)支持，主要包括：稱重配料控制系統(tǒng)解決方案、定量包裝控制系統(tǒng)解決方案、高精度溫度控制系統(tǒng)解決方案及各種計量控制系統(tǒng)解決方案。

　　我們的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于機械和設(shè)備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品，我們將以飽滿的熱情，周到的服務(wù)，客戶*的原則，為您提供滿意的產(chǎn)品。

展開顯示更多內(nèi)容

雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、材料色散測量儀、相位波前角色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀、載波包絡(luò)相移測量儀、激光對中儀、激光平面度測量儀、激光同軸度測量儀、激光孔位測量儀、重傳感器、稱重變送器、稱重接線盒、PT100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、電壓信號轉(zhuǎn)換器、電流信號轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號-頻率轉(zhuǎn)換器、模擬量信號轉(zhuǎn)頻率信號等。

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)品功能ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數(shù)控機床幾何量的測量等，最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動

多軸路同步測量激光干涉儀（型號：ZLM800，德國JENAer公司生產(chǎn)，）產(chǎn)品信息

產(chǎn)品功能
    ZLM800多軸路同步測量激光干涉儀——真正的雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數(shù)控機床幾何量的測量等，最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系檢測物體的振動變化。
    1.納米級的多軸聯(lián)動位移、速度、加速度的動靜態(tài)測量分析及運動控制環(huán)同步測量校準；
    2.同步實時測量多軸聯(lián)動驅(qū)動部件的俯仰、扭擺、滾動的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯(lián)動插補位移誤差及驅(qū)動匹配誤差分析；
    3.納米級振動的多軸向同步數(shù)據(jù)采集測量和分析。

性能優(yōu)勢

l 系統(tǒng)采用雙頻激光發(fā)射器及多軸路干涉信號同步數(shù)據(jù)處理器，是真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。

l 基于可朔源的激光波長為位移量度量基準，應(yīng)用雙頻激光外差式干涉原理及交流光電信號處理器，克服了單頻激光干涉測量的直流電平漂移及受環(huán)境因素光強變化約束的弊端，具有*的增益、高信噪比和抗電磁干擾性能，實現(xiàn)了可朔源的多光路外差式激光干涉測量。

l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。

l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。

l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。

l 對于多軸聯(lián)動復(fù)雜光路的角度和微位移的測量，ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)

型號：ZLM800	使用高性能PCI或機架式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率：	5mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù)：	最多6個
線性測量距離：	2m
角度測量范圍：	± 10°
速度：	2m/s
加速：	無限制
采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時間：	10分鐘
位移測量分辨率：	1.25nm
位移測量精度（20℃±0.5℃時）：	±0.4ppm (μ/m)
角度測量分辨率：	0.012角秒
角度測量精度：	±0.1ppm 示值
數(shù)據(jù)接口：	積分信號 32 Bit (實時時間) 數(shù)據(jù)延時< 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用案例

以下是為某項目設(shè)計的ZLM800兩個應(yīng)用案例。在個案例中，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動，實時測試兩個擺鏡對應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個案例中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。