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東莞市品雅真空設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 真空泵,真空泵油,真空泵耗材,真空泵維修 |
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更新時(shí)間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：568
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蒸發(fā)鍍膜法原理任何物質(zhì)在一定溫度下，總有一些分子從凝聚態(tài)（固態(tài)，液態(tài)）變成為氣態(tài)離開(kāi)物質(zhì)表面，但固體在常溫常壓下，這種蒸發(fā)量是極微小的。如果將固體材料置于真空中加熱至此材料蒸發(fā)溫度時(shí)，在氣化熱作用下材料的分子或原子具有足夠的熱震動(dòng)能量去克服固體表面原子間的吸引力，并以一定速度逸出變成氣態(tài)分子或原子向四周迅速蒸發(fā)散射。當(dāng)真空度高，分子自由程遠(yuǎn)大于蒸發(fā)器到被鍍物的距離d時(shí)（一般要求，材料的蒸氣分子在散射途中才能無(wú)阻當(dāng)?shù)刂本€達(dá)到被鍍物和真空室表面。在化學(xué)吸附（化學(xué)鍵力引起的吸附）和物理吸附（靠分子間范德瓦爾斯力產(chǎn)生的吸附）作用下，蒸氣分子就吸附在基片表面上。當(dāng)基片表面溫度低于某一臨界溫度，則蒸氣發(fā)分子在其表面發(fā)生凝結(jié)，即核化過(guò)程，形成“晶核"。當(dāng)蒸氣分子入射到基片上密度大時(shí)，晶核形成容易，相應(yīng)成核數(shù)目也就增多。在成膜過(guò)程繼續(xù)進(jìn)行中，晶核逐漸長(zhǎng)大，而成核數(shù)目卻并不顯著增多。由于（1）后續(xù)分子直接入射到晶核上；（2）已吸收分子和小晶核移徒到一起形成晶粒；（3）兩個(gè)晶核長(zhǎng)大到互相接觸合并成晶粒等三個(gè)因素，使晶粒不斷長(zhǎng)大結(jié)合。構(gòu)成一層網(wǎng)膜。當(dāng)它的平均厚度增加到一定厚度后，在基片表面緊密結(jié)合而沉積成一層連續(xù)性薄膜。
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