技術(shù)參數(shù)
　1.中階梯光柵，大面積、程序化固態(tài)檢測器陣列L-PAD 
2.波長范圍165-1100nm，可選配120-165nm，分辨率：<0.005nm（200nm）。 
3.焦距800mm，色散率0.06nm/mm（200nm） 
4.高效穩(wěn)定40.68MHZ RF發(fā)生器，水冷 
5.全自動氬氣質(zhì)流控制，WINICP視覺導(dǎo)航軟件

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