東莞現(xiàn)貨中國臺灣進口真空吸盤項目研究成果，真空吸盤*世安！

東莞現(xiàn)貨中國臺灣進口真空吸盤項目研究成果，具有產(chǎn)業(yè)化的潛力。微型電容傳感器的即可開發(fā)用于真空設(shè)備、航空航天裝置等高精度測試所需的器件，由于微型電容與其它微型電容傳感器的制作的加工方法和設(shè)備是一樣的，也可用在醫(yī)療。

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等離子刻蝕硼硅膜引出金屬電極的方法使得傳感器制作更簡單傳感器的傳感元是經(jīng)過濃硼擴散的硼硅膜，方形硼硅膜的應用使得傳感器有更高的靈敏度。

TWSA品牌SMC款ZPT系列不帶緩沖垂直接管式真空吸盤外形尺寸（mm）：

真空吸盤與真空壓力開關(guān)是相互要用的，真空吸盤是需要在真空環(huán)境下才能工作，而真空壓力開關(guān)就是設(shè)定真空壓力的，控制真空壓力。

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主要采用p 硅自停止腐蝕技術(shù)和硅-玻璃鍵合技術(shù)制作，形成了硅-玻璃-硅的三明治結(jié)構(gòu)為一種以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的電容式硅微真空傳感器。