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自動掃描薄膜測量儀器

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更新時(shí)間:2025-01-01 06:42:35瀏覽次數(shù):50次

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簡要描述:自動掃描薄膜測量儀器SenSol自動掃描儀器設(shè)計(jì)用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線測量。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺中。這也允許特定的工藝監(jiān)測,提供補(bǔ)償工藝中出現(xiàn)的差異。

自動掃描薄膜測量儀器

整體表面分析

SenSol自動掃描系統(tǒng)是為薄膜測量設(shè)計(jì)的,在面板上的每個(gè)位置,特別是在邊緣都可以進(jìn)行測量。

TCO自動掃描

TCO可以研究厚度的均勻性、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。

工藝優(yōu)化

新的沉積工藝或清洗后的沉積設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間顯著減少。


SenSol自動掃描儀器設(shè)計(jì)用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質(zhì)量控制的在線測量。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺中。這也允許特定的工藝監(jiān)測,提供補(bǔ)償工藝中出現(xiàn)的差異。

瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測量設(shè)備的供應(yīng)商,也是SENTECH的主要參考客戶之一,通過SenSol的工藝監(jiān)測確保了優(yōu)異的生產(chǎn)效果。

SENTECH易于使用,面向配方的SenSol自動掃描軟件為制造商主計(jì)算機(jī)提供了靈活和定制的接口,以及客戶特定的薄膜測量結(jié)果的圖形表示。


SenSol axis with sensor headsSenSol system for automated mappingHaze mapping by SenSol Haze, courtesy of Oerlikon Solar, SwitzerlandSheet resistance mapping by SenSol HazeThickness mapping by SenSol HazeHigh haze textured AZO filmSheet resistance of AZO film




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