詳細(xì)摘要: 編號(hào)內(nèi)容規(guī)格參數(shù)備注1整機(jī)結(jié)構(gòu)帶load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元,前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計(jì)2等離...
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