探知未來
原子力顯微鏡(AFM)是在樣品表面用微小的探針進行掃描,通過高倍率觀察三維形貌和局部物理特性的顯微鏡總稱。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作簡單的新一代掃描探針顯微鏡。
縮短觀察時間 高通量掃描
通過新開發(fā)的可快速響應的HT掃描器以及軟件與控制系統(tǒng)設計的優(yōu)化,成功實現(xiàn)以傳統(tǒng)設備5倍以上的速度(與本公司相比)獲取圖像數(shù)據。

掃描器可簡單更換,因而可使用傳統(tǒng)掃描器。另外,可通過在原SPM-9700上追加HT掃描器,實現(xiàn)設備的分析。
分析案例
• 金屬蒸鍍膜的表面粗糙度分析
以1Hz和5Hz的掃描速度對金屬蒸鍍膜的表面形貌進行觀察。畫質及表面粗糙度的分析結果相同。

• 光柵溝槽形狀檢測
以1Hz和5Hz的掃描速度對光柵的表面形貌進行觀察。經過斷面形狀分析,溝槽形狀檢測結果均相同。

探針安裝夾具——“探針專家”(選配)
可輕松地準確安裝探針。
安裝順序:
① 將探針架安裝在探針安裝夾具上。
② 將探針置于滑動臺上。
③ 將探針插入探針架并固定,保持探針能夠滑動。


高速分析處理
·無需拆除懸臂架即可進行樣品交換。
·在SPM觀測時,也可接觸樣品。
·無論樣品的厚薄,可自動驅近到更適宜的觀測位置。
SPM-9700HT 高速分析處理的秘訣
優(yōu)異的操作性能 -樣品更換的分析處理比較-

SPM-9700HT僅用鼠標即可實現(xiàn)旋轉、放大縮小、Z軸倍率的自由變化,調節(jié)圖像角度和倍率。更有將高度信息和其他物理信息重合顯示的質感功能和3D斷面形狀分析功能,由此實現(xiàn)高度分析,提高圖像確認的效率。
鼠標操作即可實現(xiàn)豐富的3D圖像顯示

質感功能
能夠將高度信息和其它的物理性信息重合顯示。兩者關系也可明確顯示。

3D斷面形狀分析
能夠在3D顯示時進行斷面形狀分析。質感功能顯示物理性信息時,也可在同一位置分別顯示各種各樣的斷面形狀,并進行分析。
從觀察到分析實現(xiàn)無拘無束的可操作性
從在線觀察到離線分析采用新界面(GUI)設計,實現(xiàn)了從觀察操作到觀察位置、結果分析的簡單便捷操作。

操作簡單明確
從啟動到觀察、分析,均無復雜的設定,輕松點擊鼠標即可進行操作。 自動進針,自動掃描,全程保護探針不受損傷,同時保證圖像分辨率和探針壽命。