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DPH系列氣動(dòng)隔膜閥

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產(chǎn)品簡介

工作壓力:真空至300psig｜ 材質(zhì):316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~70℃

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹 

 

DPH 系列氣動(dòng)隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低漏率，超長使用壽命，穩(wěn)定快速的側(cè)進(jìn)氣執(zhí)行機(jī) 構(gòu)；適用于超高純 度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。

 

主要部件材料

 

閥體                       316L /316L（VIM+VAR）
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊                   PCTFE 

 

工作條件

 

工作壓力                真空至 300psig
爆破壓力                3000psig
流量系數(shù)                0.5 
工作溫度                -10 ～ 70℃
內(nèi)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度         Ra≤0.1μm

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

適合超高純度氣體應(yīng)用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重復(fù)執(zhí)行的氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)
每臺(tái)閥門進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測(cè)
超長使用壽命（400 萬次實(shí)驗(yàn)值）

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