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本設(shè)備是更新了RK1200設(shè)計的用于整合設(shè)備的流量計。 它是一種高級閥門流量計，配有高精度流量計和能夠精密控制流量的針閥。 是非常適用于計算控制微小流量的流量計。
- 可實現(xiàn)超小流量控制
它可以支持從0.5ML / MIN~3ML / MIN的超小流量到3~30L / MIN的流量的廣泛范圍。 - 使用精密針閥
根據(jù)所的流量和常用供應(yīng)壓力，能實現(xiàn)針閥的有效轉(zhuǎn)速。 （可以控制細(xì)微的流量） - 種類豐富
流量計的總長度有四種尺寸，分別為126,156,206和256 mm，可根據(jù)用途進(jìn)行選擇。 - 下方閥門和上方閥門兩種類型
有下方針閥型和上方針閥型兩種。 請根據(jù)用途使用。 - 可用于水用
同時還制作了流量1L/MIN以下的水用流量計。
用途
- 用于整合設(shè)備
- 用于半導(dǎo)體相關(guān)的燃?xì)庠O(shè)備
- 用于生物工業(yè)
- 用于真空管路控制
使用示例
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準(zhǔn)） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn)，實際氣體校準(zhǔn)請另行咨詢 ※選項：2種流體刻度 | 標(biāo)準(zhǔn)流體（H2O） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn) （但是，會產(chǎn)生與實際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1~1 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（計量點(diǎn)）※選項：FS±1％（計量點(diǎn)） | FS±2％（計量點(diǎn)） | |
| 耐壓 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10 L / MIN以上：0.5 MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※選項20：1 | ||
| 材質(zhì) | SS制 | RS制 | |
|---|---|---|---|
| 主體區(qū)塊 | SUS316 | 黃銅 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | ||
| 密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
| 浮標(biāo) | 硬質(zhì)玻璃，SUS316 | ||
| 保護(hù)罩 | 丙烯 | ||
| 使用溫度 | 60℃ | ||
| 連接端口 | Rc1 / 4（標(biāo)準(zhǔn)） | ||
容量列表
可選規(guī)格
- F.S. ±1％（計量點(diǎn)）
- 0.5~3ML / MIN Air（大氣壓）規(guī)格 注）全長為126mm的情況。
- 全氟醚橡膠O型圈規(guī)格 注）沒有用于關(guān)閉針部的O型圈。 注）氣體1L / MIN以下無過濾器。
- 雙刻度規(guī)格
- 20：1刻度規(guī)格
