當(dāng)今科學(xué)界的科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要越來越精密的計(jì)算和測量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對隔離的設(shè)備儀器對實(shí)驗(yàn)的結(jié)果測量時(shí)非常重要的。能夠固定各種光學(xué)元件以及顯微鏡成像設(shè)備等的光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺也成為科研實(shí)驗(yàn)中的產(chǎn)品。
BILZ旗下LTO光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺采用新型隔振機(jī)構(gòu),大幅度提高了超微振動絕緣性能。在半導(dǎo)體行業(yè)等超精密加工領(lǐng)域,制造、檢驗(yàn)、測量的精細(xì)程度須達(dá)到納米級和埃級,BILZ LTO光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺捕捉了這種時(shí)代的需求。
LTO光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺產(chǎn)品,除采用新型隔振機(jī)構(gòu)以外,還擁有考慮了振動絕緣的臺架結(jié)構(gòu),與設(shè)置環(huán)境四配的簡單設(shè)計(jì),以及操作方便的眾多可選擇品種。他們能為高分辨率檢查、超微細(xì)部觀黎及測定等的精細(xì)業(yè)務(wù)提供高性能的隔振效果。
BILZ光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺的特點(diǎn)是的品質(zhì)和功能。
產(chǎn)品描述
可調(diào)節(jié)臺腳,抗扭曲,焊接鋼結(jié)構(gòu)。
框架和板之間采用薄膜空氣彈簧隔振裝置BiAir(垂直固有頻率大約2Hz)。
機(jī)械氣動水平控制(水平精度± 1/100 mm 或者± 1/10 mm)。
應(yīng)用范圍:
激光光學(xué)儀系統(tǒng)。
特殊的顯微鏡。
光學(xué)平臺
天然高阻尼 HD 鋁蜂窩芯 無螺紋金屬蓋板。
天然高阻尼HDT鋁蜂窩芯 螺紋金屬蓋板。
結(jié)構(gòu)說明
蓋板:5mm 表面密迪紋拋亞光處理磁性不銹鋼平臺。
工作面精度:平面粗糙度優(yōu)于0.8μm,平面度為≤0.10 ㎜/㎡。
基板:鋼板。
螺紋:M6(HDT)。
核心:(HD/T)0.1mm 鋁制蜂窩芯與金屬板用特殊樹脂粘接精密成型。
螺紋:平臺表面布有標(biāo)準(zhǔn)公制螺紋孔M6,孔距分別為25mm×25mm 均布陣列孔,邊排孔中心距邊均為50mm。
光學(xué)平臺重量較輕,提供的阻尼。
BILZ LTO 阻尼特性蜂窩板已被優(yōu)化,HD 系列內(nèi)部高阻尼系數(shù)將高頻共振和典型的高頻范圍振動消除。
德國BILZ產(chǎn)品范圍: 復(fù)合橡膠氣體彈簧FAEBI®,電子氣動水平控制系統(tǒng)EPPC™,比爾茨桌面式隔振臺,隔振墊,水平調(diào)節(jié)件,精密楔形隔振座,薄膜空氣彈簧BiAir®,主動隔振系統(tǒng)AIS™,消磁系統(tǒng),LTH隔振臺,測量技術(shù)和振動分析,比爾茨產(chǎn)品附件
統(tǒng)