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MSA-500顯微式激光測(cè)振儀

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MSA-500顯微式激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的測(cè)量工具，可精確測(cè)量MEMS三維動(dòng)態(tài)特性

詳細(xì)介紹

   MSA-500顯微式激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的測(cè)量工具，可精確測(cè)量MEMS三維動(dòng)態(tài)特性。
   • 利用激光多普勒測(cè)振技術(shù)測(cè)量物體面外振動(dòng)特性
   • 利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測(cè)量物體面內(nèi)振動(dòng)特性
   • 通過(guò)白光干涉測(cè)量物體形貌特性
   • 結(jié)合MSA-500和MEMS探測(cè)站來(lái)測(cè)量MEMS設(shè)備振動(dòng)特性 

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