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行業(yè)產(chǎn)品

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首昂光電（上海）有限公司


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晶圓自動切邊機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2023-08-30 10:06:36瀏覽次數(shù)：210次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

使用高精密的激光加工掃描技術(shù)，應(yīng)用于GPP二極管晶圓中各種圖形切割加工

詳細(xì)介紹

使用高精密的激光加工掃描技術(shù)，應(yīng)用于GPP二極管晶圓中各種圖形切割加工。加入自動上料和下料系統(tǒng)實現(xiàn)全程自動化加工。采用*的掃描振鏡加工配合X Yθ三軸平臺切割圖形，使用CC D圖像識別系統(tǒng)實現(xiàn)加工件自動識別，定位和自動加工。

設(shè)備型號                                    晶圓自動切邊機(jī)

激光類型                          紅外                                 紅外

激光波長                       1064nm                           1064nm

激光功率                         30w                                   50W

掃描速度                      300mm/s                          500mm/s

加工晶圓尺寸          4 inch                                 4 inch

融邊大?。ㄖ本€段）     80~100um                        80~100um

對焦方式                    自動（Z 軸運(yùn)動）              自動（Z 軸運(yùn)動）

綜合切割精度                    ±10um                            ±10um

加工定位方式             自動上下料＆自動對位     自動上下料＆自動對位

效率（切割）                       ＜ 30s                             ＜ 20s


適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的GPP晶圓的切割。

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