1．技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積：150mmX150mm
l 曝光波長：365nm
l 分辨力：0.8-1um（膠厚2 um的正膠）
l 對(duì)準(zhǔn)精度：±0. 6um
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm（各種不規(guī)則片）
厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)
l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式），0.1s-9999s
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 范圍） 5%（f150mm范圍）
l 雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍
目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍
l 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
l 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
l 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 膠厚：500mm(SU8膠)
l 光源平行性：2°
l 曝光能量密度：>18mW/cm2
l 冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷
l 曝光面溫度：<30°C
l 汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口
2．外形尺寸：1400mm（長）′1200mm(寬) ′1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
l 冷卻風(fēng)扇
l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（109個(gè)透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
l 循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
l 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)
l 承片臺(tái)4個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
l 掩模夾4個(gè)（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
l 基片抽拉式上下片機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
l 光源（配備品2只）、電源
l 雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
l 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
l 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
（4）CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(選配)
l 光源（配備品3只）、電源
l 成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）
l 數(shù)據(jù)采集卡
l 三維工件臺(tái)（兩套）
l CCD（2只）
（5）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
l 單片機(jī)控制系統(tǒng)
l 控制柜桌
l 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器
（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動(dòng)
l 氣動(dòng)儀表
（7）其他附件
l 真空泵一臺(tái)（無油泵）
l 空壓機(jī)一臺(tái)（泵）
l 管道
（8）技術(shù)資料
l 使用維修說明書
l 顯微鏡使用說明書
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