LFS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

LFS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的，這一系列傳感器均采用微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔、干燥氣體。

詳細(xì)介紹

LFS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器

一、產(chǎn)品介紹

LFS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的，這一系列傳感器均采用微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

■響應(yīng)速度快

■低功耗、低壓損

■傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定性高

■傳感器靈敏度高、有極小的始動(dòng)流量

■全量程高穩(wěn)定性、高精度度和優(yōu)良的重復(fù)性

■在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高

■傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量。

三、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	LFS4001	單位
通徑	3.0	mm
流量范圍	30、100、200、500、1000	SCCM（毫升/分鐘）
量程比	100：1
精度	±1.5	%
重復(fù)性	0.25	%讀數(shù)
響應(yīng)時(shí)間	4	秒
工作電源	8-24VDC
輸出信號(hào)	0.5-4.5VDC、RS232
工作壓力	0.5	MPa
工作溫度	-5～+55	℃
儲(chǔ)存溫度	-20～+65	℃
連接方式	可拆卸的軟管接頭或根據(jù)客戶需求訂制

四、選型編碼

LFS4001-	□ - □ - □ 說(shuō) 明
流量	30	30 mL
	100	100 mL
	200	200 mL
	500	500 mL
	1000	1000 mL
輸出方式		C	RS232
		V	模擬電壓(0.5-4.5VDC)
		CV	RS232+模擬電壓(0.5-4.5VDC)
測(cè)量介質(zhì)			A	空氣
			C	二氧化碳
			E	氦氣
			H	氫氣
			N	氮?dú)?/span>
			O	氧氣
			R	氬氣

注明：流量的單位為sccm，比如100代表流量為100sccm；對(duì)二氧化碳，流量可選30，100，200，500和750，不可選1000；傳感器的標(biāo)準(zhǔn)輸出為模擬電壓，RS232為選項(xiàng)。

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