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6英寸小型等離子清洗機

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品       牌

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更新時間:2023-08-06 08:36:50瀏覽次數(shù):402次

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產(chǎn)品簡介

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)

詳細介紹

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

設備名稱

6英寸小型等離子清洗機-PCE-6 (2019.11.1-科晶實驗室審核)


產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備    3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>    4、配件妥善保管提示


設備特點

擁有6英寸清洗腔室,可清洗約5英寸直徑的基片。

·通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、清洗時間如圖一。

真空泵的開閉如圖二。

·時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

·設有一個三通閥,可大體控制進氣流量。


圖一.gif  



主要參數(shù)

輸入功率:AC 220V,50/60 Hz,  

射頻功率:30 W

真空泵:<>

總功率:<>

射頻功率:射頻功率(施加在線圈上的高壓和高頻電流)可以在三個級別上調(diào)節(jié):低設置7.2W;中設置10.2W; 高設定30W

射頻頻率:13,56 MHz




更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

機體結(jié)構(gòu)

·高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗

·帶觀察窗的鉸鏈式門,便于樣品加載和觀察

   

 

控制面板:控制功能:清潔時間,射頻功率,真空泵。

 


惰性氣體

·通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

·等離子清洗機不得使用易燃及腐蝕性氣體


外形尺寸

·400mm×300mm×300mm


凈重

10.2kg


認證

CE認證


質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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