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上海昊量光電設備有限公司


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大負載桌腿型、主動氣浮隔振光學平臺（MAPS series）

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更新時間：2023-09-22 10:58:05瀏覽次數(shù)：326次

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產品簡介

產品介紹視頻產品簡介明立精機的MAPS系列產品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置

詳細介紹

產品介紹視頻


產品簡介

明立精機的MAPS 系列產品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應全自由度的振動，能發(fā)揮出除振性能、制振性能、定位性能等。






產品特點

  1. MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動

  2. 標準的MAPS 可除振10 噸以上的設備

  3. 搭載工件等移動裝置也不會搖擺

  4. MAPS 具有精確定位及精密校平性能

  5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

  6. MAPS 是構成精密設備的一個重要部分


應用領域

半導體制造，等


主要規(guī)格和參數(shù)表


附注


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