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捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間：2023-06-02 13:50:59瀏覽次數(shù)：390次

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產(chǎn)品簡介

捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用新開發(fā)的超高分辨率GBSH模式，達(dá)到了高水準(zhǔn)的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合，實(shí)現(xiàn)了更高的亮度，能有效采集電子槍中發(fā)射的電子...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用新開發(fā)的超高分辨率GBSH模式，達(dá)到了高水準(zhǔn)的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合，實(shí)現(xiàn)了更高的亮度，能有效采集電子槍中發(fā)射的電子，即使在低加速電壓下也能獲得幾pA～數(shù)10 nA 探針電流，保持最小的物鏡光闌就可以進(jìn)行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。
捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測被過濾器彈回的低能量電子，BED通過檢測低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。
分辨率 0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV)
分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA)
倍率 × 25 ～ × 1,000,000
加速電壓 0.01kV ～ 30kV
束流 數(shù)pA～500nA
自動光闌角控制透鏡 內(nèi)置
檢測器 高位檢測器(UED)
低位檢測器(LED)
能量過濾器 UED過濾器電壓可變功能內(nèi)置
Gentle Beam模式 內(nèi)置
樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達(dá)驅(qū)動
樣品移動范圍 X:70mm, Y:50mm  Z: 2mm to 25mm 傾斜－5 ～ ＋70°  旋轉(zhuǎn)360°
應(yīng)用實(shí)例
捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡標(biāo)配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像，到達(dá)樣品時(shí)的能量為1keV，左圖中樣品偏壓為-2kV，右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察，HOPG的微細(xì)結(jié)構(gòu)更加清晰，達(dá)到的分辨率更高。

 


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