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捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡

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捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標(biāo)配了照明系統(tǒng)球差校正器，是一款原子分辨分析型透射電鏡，擁有的STEM-HAADF像分辨率（78pm）。標(biāo)配照明系統(tǒng)球差校正器，且限度地提升了裝置的機(jī)械穩(wěn)定性和電氣穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了的STEM-HAADF...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標(biāo)配照明系統(tǒng)球差校正器，且限度地提升了裝置的機(jī)械穩(wěn)定性和電氣穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了的STEM-HAADF像分辨率（78pm*1、82pm*2）。此外經(jīng)過(guò)球差校正的電子束與一般的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡相比，電流密度可以高出十倍。使用束斑更小、電流密度更大的電子束，能在進(jìn)行原子水平的元素分析同時(shí),大幅度地縮短測(cè)試時(shí)間，極大地提高分析效率。

*1 配備冷場(chǎng)發(fā)射電子槍 *2 配備肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標(biāo)配了掃描透射環(huán)形明場(chǎng)(STEM-ABF)成像模式，通過(guò)STEM-ABF像能直接觀察晶體樣品中輕元素的原子陣列，還可以同時(shí)獲取STEM-HAADF像，在樣品結(jié)構(gòu)的分析中能夠發(fā)揮巨大威力

捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡配備日本電子制造的100mm²的大面積硅漂移檢測(cè)器(Silicon Drift Detector:SDD)*3，可以進(jìn)行快速、高靈敏的EDS元素分析，與經(jīng)過(guò)球差校正的電子束流組合，能進(jìn)行原子級(jí)的元素面分布，在原子水平的分辨率下進(jìn)行成份分析。

捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍(Cold-FEG)*4配備新開(kāi)發(fā)的真空系統(tǒng)，與傳統(tǒng)的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍不同，F(xiàn)lashing操作后可以馬上使用。由于光源小可以獲得更高分辨率的圖像。此外冷場(chǎng)發(fā)射電子槍的能量發(fā)散度小，不僅能進(jìn)行高分辨率的EELS分析，還能降低色差。

捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡使用成像系統(tǒng)的球差校正器*5，透射電子像(TEM)的分辨率可以高達(dá)110pm。

分辨率
掃描透射暗場(chǎng)像	82pm（加速電壓200kV、肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍） 78pm（加速電壓200kV、冷場(chǎng)發(fā)射電子槍）
透射像（點(diǎn)分辨率）	190pm（加速電壓200kV） 110pm（加速電壓200kV、安裝TEM球差校正器）
倍率
掃描透射像	X200～X150,000,000
透射像	X50～X2,000,000
電子槍
電子槍	肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍冷場(chǎng)發(fā)射電子槍（選配件）
加速電壓	200～80kV（標(biāo)準(zhǔn)200kV、80kV）
樣品系統(tǒng)
樣品臺(tái)	全對(duì)中側(cè)插式測(cè)角樣品臺(tái)
樣品尺寸	3mmΦ
傾斜角	X軸: ±25°　Y軸: ±25°（使用雙傾樣品桿）
移動(dòng)范圍	X,Y: ±1mm　Z: ±0.1mm（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)／壓電驅(qū)動(dòng)）
球差校正器
照明系統(tǒng)球差校正器	標(biāo)配
成像系統(tǒng)球差校正器	選配件
選配件
主要選配件	能譜儀（EDS）電子能量損失譜儀（EELS） CCD數(shù)碼相機(jī)系統(tǒng) TEM/STEM斷層掃描系統(tǒng) 雙棱鏡