SJ6000激光干涉儀光學測量儀器中圖儀器（chotest）

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產(chǎn)品型號SJ6000

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更新時間：2023-03-20 13:49:42瀏覽次數(shù)：463次

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  激光干涉儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

SJ6000激光干涉儀光學測量儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量

詳細介紹

SJ6000激光干涉儀光學測量儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。它集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

產(chǎn)品功能

1.SJ6000激光干涉儀光學測量儀器可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
2.可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3.可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
5.具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等；
6.支持手動或自動進行環(huán)境補償。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號： SJ6800
產(chǎn)品名稱：激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度： 0.04ppm
測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）
測量分辨力：1nm
測量至大速度：4m/s
線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
主要特點：測量、恒測力、無阿貝誤差

SJ6000激光干涉儀光學測量儀器在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。

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