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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)URE-2000/A12大面積自動(dòng)光刻機(jī)產(chǎn)品技術(shù)特征l、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm，冷光照明（曝光面能量大于10mW/cm，溫度小于30℃）
URE-2000/A12大面積自動(dòng)光刻機(jī)
產(chǎn)品技術(shù)特征
l、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm，冷光照明（曝光面能量大于10mW/cm，溫度小于30℃）；
2、采用1000W進(jìn)口（德國(guó)歐司朗直流汞燈，光能量密度可調(diào)）；
3、采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)實(shí)現(xiàn)均勻照明；
4、采用自動(dòng)控制的自動(dòng)找平方式，無(wú)論大片、小片、非標(biāo)片均可實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)平；
5、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙；
6、高倍率顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程；既可通過(guò)顯微鏡目鏡觀察對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)“CCD+顯示器"觀察對(duì)準(zhǔn)，不僅可滿足高精度對(duì)準(zhǔn)功能，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果；
7、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；
8、對(duì)準(zhǔn)完成自動(dòng)消除曝光間隙，無(wú)橫向漂移且可通過(guò)監(jiān)視器觀察；
9、快門(mén)可以單獨(dú)開(kāi)啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）；
10、設(shè)備外形美觀精制，性能非常可靠；設(shè)備主體材料經(jīng)過(guò)防銹處理，經(jīng)久耐用；
11、可數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙；
12、上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)便；
二、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：
(1)曝光面積：300mm×300mm可兼容；
（2）分辨力：2μm；
（3）對(duì)準(zhǔn)精度：±2μm；
（4）掩模尺寸：7英寸、9英寸、13英寸；
（5）樣片尺寸：6英寸、8英寸、12英寸；
（6）wafer chuck表面：防止光反射涂層；
（7）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6°；
（9）汞燈功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm；
（11）曝光峰值波長(zhǎng):365nm；
（12）光源平行度：＜2°；
（13）曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s—9999.9s）；
（14）光刻版夾具兼容性；
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤(pán)刻劃等。
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