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更新時(shí)間：2023-07-04 09:18:17瀏覽次數(shù)：966次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)單面紫外光刻機(jī)型號(hào)：URE-2000/25簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：MaskALIGENER)又名曝光機(jī),該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度
單面紫外光刻機(jī)
型號(hào)：URE-2000/25
簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。
一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無(wú)論大片、小片調(diào)平精度均高；
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；
5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；
7、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；
8、對(duì)準(zhǔn)完成，自動(dòng)消除曝光間隙，無(wú)橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察；
9、快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）；
10、采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)"兩種方式，即曝光時(shí)采用高亮度照明，而不曝光時(shí)采用低亮度的“待機(jī)"，從而延長(zhǎng)了汞燈壽命。
12、設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?；
13、上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度很高，操作簡(jiǎn)便。
二．技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積：115mm×115mm
2、分辨力：0.8μm（膠厚2mm的正膠）
3、對(duì)準(zhǔn)精度：：±0.5μm
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm(可擴(kuò)展為15mm)
8、照明均勻性：±3.5%（Ф100mm范圍）
9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11、曝光波長(zhǎng)：365nm（進(jìn)口汞燈）
12、曝光能量密度：15mW/cm 可以根據(jù)需要增強(qiáng)或調(diào)弱(420nm以上波長(zhǎng)小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—9999.9s）
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等
URE系列紫外光刻機(jī)系我公司重點(diǎn)推薦產(chǎn)品
曾出口：新加坡，韓國(guó)，朝鮮，緬甸，老撾等
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